智能窗用三氧化钨电致变色薄膜

智能窗用三氧化钨电致变色薄膜可以通过磁控溅射法制备得到。你们可能知道磁控溅射法是一种适用于多领域的薄膜制备方法，便于在实验室中进行研究，同样适用于企业大规模生产。那么，你们可是知道磁控溅射法制备WO3电致变色薄膜的基本方法是什么？

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磁控溅射法制备WO3电致变色薄膜的基本方法是：以W或WO3为靶材，工作气体为Ar或Ar与O2混合气体，通过施加高压，靶材表面产生异常辉光放电，所产生的等离子体以磁场进行约束，使Ar+离子以500eV的能量对靶材进行轰击，以离子形态从靶材表面剥离出原子以及原子簇，从而在基底表面沉积形成均匀的WO3薄膜。

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