蓝宝石晶圆

蓝宝石晶片具有完整的定位选项，包括C面，A面，R面和M面，直径范围从1“到4 ” ，方形基片也可作为良好，尺寸从10 ×10毫米到100 x 100毫米。基板生产按SEMI标准具有良好的表面粗糙度Ra < 5A和高清洁度，。蓝宝石晶片是由提拉法生产的，由于它的高强度，高抗腐蚀高耐磨损，低介电损耗和良好的电绝缘性，单晶蓝宝石晶片扮演的蓝色LED与高Tc超导体的材料越来越重要的作用和微波应用。

厚的氮化镓层使用这些层的同质外延衬底以提高激光二极管器件的质量或发光二极管的目的增加了氢化物气相外延（HVPE ） ，HVPE是一层厚厚的发展是非常有用的因为增长率可以从几十可达每小时百微米。在该实验中，通过生长形成在氧化硅掩模开口开始作为选择性生长。面由平面形成的早期阶段和从这些方面对氧化硅掩模聚结开发的连续膜。因此，氮化镓层，位错密度低至6 ×107厘米²生长在2英寸直径的蓝宝石晶片。这些氮化镓层是无裂纹和有镜面般的表面。


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