氨分子束外延生长氮化铝的蓝宝石衬底

氧化铝表面氮化及由氨分子束外延（MBE）在蓝宝石基板上的氮化铝薄膜的随后生长动力学进行了研究。氮化铝的生长过程中表面形貌演化研究了原位反射高能电子衍射和易地通过原子力显微镜。据发现，氮化铝层表面厚度大于100 nm的有两个主要特点：相当流畅的背景和小丘的明显量。的生长条件下的AlN的表面形貌的影响进行了研究，以便找到一种方式，减小了小丘的密度。氮化的蓝宝石表面与后续治疗下氨气流量对表面的修饰通过少量的铝（ 1-2单层）的建议，生长改性表面层的氮化铝表面形貌的改善是证明。

氮化铝的单晶层被生长在蓝宝石衬底1000和1100 ℃下的氯化铝与氨的气相反应之间。纯度、颜色、结晶度、生长形态并且外延层的电阻率进行了研究。红外线镜面反射的测量有可观的应变在氮化铝-蓝宝石外延界面的存在。光吸收数据有力地表明在氮化铝是一种直接带隙材料具有约6.2eV的在室温下的值。


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