在氮化镓外延层效果的蓝宝石衬底表面的初始热清洁处理

在蓝宝石衬底表面的hydrogenambient原位thermalcleaning治疗对ofepitaxial通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）生长的氮化镓薄膜的结构，光学和电学性质的影响。霍尔效应， X-射线衍射（XRD） ，并且在1040 ℃下生长明显地indicatethat的膜质量的强烈影响基片表面的热cleaningtreatment 氮化镓薄膜photoluminescencemeasurements 。 氮化镓薄膜下在273弧秒和728角秒的衍射峰半高（半高宽）为1070°C的optimizedthermal清洗处理10分钟showedminimum全宽分别。此外，该带边发射峰的半峰全宽为窄至28.3毫电子伏特，和带边发光和yellowband发射之间的强度比为高达100在室温下进行。它被alsofound蓝宝石表面的粗糙度thethermal治疗后降低。

氮化镓微发光二极管（微型LED）与单片集成微透镜已被证实。微透镜，具有44微米的焦距和均方根的〜 1nm的方粗糙度，已被制作在微型LED的阵列的一个蓝宝石衬底的抛光后表面由抗蚀剂热回流和等离子体蚀刻。微透镜的光学性质已经证明，以改变LED发射器的发射模式。光从这种混合装置发出的锥显著比传统的广泛区域的设备少发散。的微型发光二极管和微透镜技术的结合提供了用于在基于氮化镓的发光体的整体效率进一步提高的潜力。


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