通过界面空洞的自我分离一个厚的氮化铝层从蓝宝石衬底上通过蓝宝石的分解

一种技术用于分离氢化物气相外延（HVPE）在蓝宝石衬底上生长的厚氮化铝层的开发，通过在含有氢气和氨气的气体流1450 ℃热处理时许多空隙可以形成于在1065 ℃生长的薄（100nm）的氮化铝层和蓝宝石衬底之间的界面处由于蓝宝石的优先分解。在一个厚（ 85微米）的氮化铝层，从与所述界面空隙的援助的蓝宝石衬底分离的厚的氮化铝层的随后生长之后的冷却过程。这样获得的独立的氮化铝基板具有光滑的表面，为1.1的位错密度×109厘米² ，而对于波长高于208.1纳米的透光性。

氮化铝的单晶层被生长在蓝宝石衬底1000和1100 ℃下的氯化铝与氨的气相反应之间。的纯度，颜色，结晶度，生长形态，并且外延层的电阻率进行了研究。红外线镜面反射的测量有可观的应变在氮化铝-蓝宝石外延界面的存在。光吸收数据有力地表明在氮化铝是一种直接带隙材料具有约6.2eV的在室温下的值。


钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.chinatungsten.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn

• < 上页
• 下页 >