在方向错误蓝宝石衬底的MOVPE生长的氮化镓薄膜

轻微的取向差从蓝宝石（ α - Al2O3）的对MOVPE生长氮化镓薄膜的表面形貌和发光性能的基板奇异面的影响进行了研究。宏台阶的形态与周期的梯田（单平面）和立管（群集步骤）已被观察到，第一次对生长在3 °-10 °错位定向蓝宝石衬底向着两个视图的外延氮化镓薄膜，并查看方向。此外，可以发现，在宏台阶导致阴极发光和电致发光（EL）的图案中的锌掺杂的氮化镓薄膜的不均匀性，这表明锌发光中心的形成依赖于平台和提升管的生长面。

一种新颖的有机金属化学气相沉积（MOCVD）系统，它有两个不同的流动，已经研制成功。一个流进行并行气体反应物到基材上，和其他惰性气体垂直于基片，用于改变反应气体流动的方向的目的。使用本系统的氮化镓膜的生长尝试，并在得到高品质的均匀薄膜英寸蓝宝石基板。载流子浓度和霍尔迁移率是1 × 1018/cm³的和200平方厘米​​/ V秒，分别，这是最高的用于通过MOCVD方法在蓝宝石衬底上直接生长氮化镓薄膜。


钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.chinatungsten.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn

• < 上页
• 下页 >