缓冲层的氮化镓中的金属有机气相外延在蓝宝石衬底上的效果

高质量的氮化镓薄膜具有表面光滑，无裂纹，可以通过金属有机气相外延（ MOVPE ），使用薄的氮化铝缓冲层生长在蓝宝石衬底上。在缓冲层中最重要的角色被发现的成核位点具有相同的晶体取向的衬底的供应，以及促进的氮化镓的横向生长是由于界面自由能的减少在衬底和外延氮化镓膜之间。

氮化镓和GA1 - xAlxN （ 0 <X ≦ 0.4 ）的蓝宝石衬底上生长了MOVPE薄膜被发现由许多马赛克与晶体不同取向的。由前面的薄氮化铝缓冲层的沉积，在晶粒取向的微小变动，能够大幅度减小，并且薄膜的结晶质量显着提高。两者的厚度和所述氮化铝层的沉积温度被发现是最佳的作为缓冲层来传达所述基板的信息，如晶体取向和放松在此异质外延生长的应变。在氮化铝缓冲层的主要作用被认为是具有相同的取向基板和促进该膜的横向生长，由于薄膜和衬底之间的降低界面自由能成核中心的供给。


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