氧化锌薄膜沉积在蓝宝石衬底化学气相沉积

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月09日星期四 14:44; 点击数：2580

氧化锌薄膜具有约200的厚度沉积在a面蓝宝石衬底上纳米化学气相沉积（CVD）的方法用混合ZnO-powder/C-powder固体源。这些薄膜用原子力显微镜（AFM），扫描电子显微镜（SEM）和光致发光（PL ）光谱。氧化锌薄膜的温度PL的关系的测定表面结构特性及其光学特征之间的相关性进行了研究各种生长条件，如流量氧气喷射气体和生长温度。在室温下，为3.305电子伏特这些电影的库仑相互作用增强吸收力通过光吸收测量确定。

当然调结构，氧化铟（氧化锌） 5片通过在蓝宝石衬底上磁控溅射法外延生长。薄膜的晶体结构和形态特征，其特征在于，利用X射线衍射和电子衍射图案。 In2Zn5O8的强烈c轴方向朝向的膜的沉积是由外延生长具有自缓冲层（SBL）来实现。 In2Zn5O8的厚度约10纳米的薄膜最初沉积为SBL 。该初始膜annealedin原位10-15分钟，大头In2Zn5O8的膜之后将其生长。最后，结晶良好的氧化铟（氧化锌）的薄膜通过在800℃退火得到的膜而得到所合成的膜的电特性有关由它调制的氧化铟（氧化锌）的结构形成机制的讨论。

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