热火运输和数值研究熔体和气体的蓝宝石提拉法晶体生长的播种过程中流体流动

为蓝宝石的直拉单晶生长的籽晶的过程中,对流量和温度场与不平的熔体-气体界面数值用有限元方法进行了研究。蓝宝石提拉法通常最初用在真正的直拉晶体生长过程中的配置包括一个坩埚,活跃后热器,感应线圈有两个部分,保温,熔化,和天然气。首先,由射频(RF )线圈在整个系统中和热的体积分布的金属坩埚和热器内所产生的电磁场进行了计算。使用这种热量分布作为源,流体流动和温度场,在整个系统中进行测定。

已考虑两种情况:

( 1 )配置无坩埚和后热之间的差距

( 2)有间隙,对应于我们的实验室经常使用的增长态势。

它表明,有源热器,其位置相对于该坩埚的影响显着的气体在腔室中和部分也熔体中的温度和流场。


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