碳基钨涂层 制备方法
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- 分类:钨专利技术
- 发布于 2013年8月01日 星期四 16:05
- 作者:Elva
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本发明介绍一种碳基钨涂层,其特征在于:包含碳基体和钨涂层两部分,均匀致密且具有一定厚度的钨涂层牢固地附着在碳基体表面。纯净的钨板作为靶材。碳材料作为基体,优先选择C/C复合材料和石墨。
本发明的优点在于:
1)钨涂层沉积速度较快,大大提高了涂层制备的效率;
2)钨靶和碳基体之间产生高密度的等离子云,大量的钨原子不但覆盖在碳基体表面,基体的侧面和背面也包附了钨涂层;
3)涂层表面致密,没有出现裂纹;
4)涂层和C/C复合材料基体结合较好。
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