什么是六氟化钼?

与六氟化钨(WF6)一样,六氟化钼也是由难熔金属元素和卤族氟元素组成的一种化合物,均可以应用于微电子工业中作互连线。钨和钼均属￿难熔金属元素,分别位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。 

六氟化钼结构图

从化学成分上看,六氟化钼是由一个正六价钼离子(Mo6+)和六个负一价氟离子(F-)组成的一种氟化剂,英文名为Molybdenum Hexafluoride或Molybdenum Fluoride,化学式为MoF6,分子量为209.95。

物理化学性质方面,六氟化钼的外观为白色块状结晶或无色气体,熔点约17.5℃,沸点约35.0℃,液体密度(17.5l℃)约551kg/m3,气体密度约7.2kg/m3,蒸气压约60.8kPa,不与氧气、氮气、空气、氯气或二氧化硫气体发生反应,具有较强的吸湿性、氧化性和腐蚀性,能腐蚀除金和铂外的所有金属。值得一提的是,MoF6的毒性主要是由氟引起的,水解产物氟化氢对眼、皮肤、呼吸道粘膜有刺激作用。吸入后能损伤支气管、肺泡、肝、脑神经系统以及骨和齿。

氟化钼结构图

六氟化钼的生产步骤:在白金管中放钼粉末,然后在60℃温度下通干燥氟气;在钼上面通三氟化溴幷加热到350℃;在空气的存在下,往MoCl5中通氟气;再将所得到的产物要冷凝到-70℃,最后在约40℃的温度下真空蒸馏,可制得精制的MoF6。

六氟化钼主要用于钼的同位素分离,或者可微电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼,以制作低电阻、高熔点的互连线。另外,MoF6在有机合成领域中也可以用作催化剂,来催化烯烃的氢化、烷基化、环化等反应。

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