硬质涂层用氮化钨薄膜

氮化钨薄膜(W2N薄膜)是一种典型的过渡金属氮化物材料,具有优异的热力学性能,如高硬度,抗氧化,耐腐蚀,耐热,良好的化学稳定性和扩散阻隔性能等,因而常用作硬质涂层材料。

氮化钨图片

硬质涂层是指具有一定厚度(一般为微米量级)、显微硬度在20GPa以上的涂层,具有高硬度、低摩擦因数、良好的耐高温和耐腐蚀性能,广泛应用于机械加工、模具制造、地质钻探、纺织工业及航空航天等领域。

普通硬质涂层材料大多是过渡金属与非金属构成的化合物、金属间化合物等,主要包括氮化物(如氮化钨、氮化钛、氮化铬、氮化锆等)、硼化物、氧化物和碳化物涂层等。据悉,氮化钛、氮化铬和氮化锆等物质在极端环境下的磨损率较高,这意味着涂层的使用寿命较短。而与这些物质相比,氮化钨具有更高的硬度、较低的磨损率和更良好的化学稳定性,因而更符合当代社会对硬质材料的要求。

硬质合金涂层图片

为了进一步提高氮化钨薄膜的力学和摩擦学性能,研究者常向该薄膜中掺入软相金属Y、Au、Ag、Al和硬质金属Cr等。研究表明,采用射频和直流共溅射的方法制备的金属Y-Cr掺杂的W2N薄膜比未掺杂软相金属的薄膜拥有更高的硬度和弹性模量,更好的摩擦学性能;在掺杂功率为30W时,薄膜具有硬度最大值为23.71GPa,弹性模量为256.34GPa,,平均摩擦学系数也有所降低;在掺杂功率为20W时,薄膜具有最小的磨损率为2.062*10^-6mm3/Nmm。

 

 

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