什么是六氟化钨?
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2022年7月08日 星期五 18:07
- 作者:Yanmao
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1、什么是六氟化钨?
六氟化钨(Tungsten Hexafluoride)为氟与钨形成的无机化合物,化学式WF6。常温常压下为无色气体、有毒、具腐蚀性的气体,溶于多数有机溶剂,密度约13g/L(约为空气的11倍)。它CAS登录号为:7783-82-6,EINECS号为:232-029-1。
2、六氟化钨有什么物理化学性质?
(1)它是一种密度最大的气体,分子量为297.830,熔点为2.3°C,几乎能够和所有金属(除了金和铂)反应。
(2)它遇水分解,在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。
(3)它还是一种强氟化剂,除镍合金和不锈钢外,在室温下能使许多金属氟化;在干燥状态时对玻璃腐蚀较弱,但在湿气中能迅速反应;与离子型卤化物反应可形成配位化合物,在高温下可被氢还原为钨。
3、六氟化钨如何生产?
它通常是由氟气和钨粉在350至400°C下直接反应而成,反应式为:W+3F2→WF6
反应产生的气态产物通过蒸馏与常见杂质WOF4分离。在直接氟化的一种变体中,将金属置于加热的反应器中,略微加压至1.2至2.0psi(8.3至13.8kPa),把恒定流量WF6注入到少量氟气中。
反应中氟气可以被替换成ClF、ClF3或BrF3。另一种制备WF6方法是三氧化钨(WO3)和HF、BrF3或SF4的反应。WF6也可以从六氯化钨开始合成,反应式为:
WCl6+6HF→WF6+6HCl
WCl6+2AsF3→WF6+2AsCl3
WCl6+3SbF5→WF6+3SbF3
4、六氟化钨有什么注意事项?
WF6是腐蚀性极强的化合物,会攻击任何组织。WF6和湿气反应会产生氢氟酸,所以WF6储存容器有聚四氟乙烯垫圈。
5、六氟化钨有什么用途?
WF6主要应用于半导体工业的化学气相沉积工艺中,以沉积钨金属。半导体器件制造行业通常用WF6化学气相沉积来形成钨膜。
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