钨铌靶材的改性
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2021年12月01日 星期三 13:43
- 作者:Xiaoting
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钨铌靶材具有高强度、高硬度、耐磨、耐腐蚀和良好耐热性能等特点,因而广泛应用于高压、高转速、高温、腐蚀性介质等工作环境。然而,在溅射过程中,靶材的边缘处会留有溅射产生的颗粒物,而这些颗粒物一旦剥落,不仅会影响溅射环境,还降低产品质量。为了解决这个问题,现有技术对该靶材的部分非溅射区域进行了改性,即经过喷砂的部分的表面较粗糙,更容易吸附颗粒物,以减低剥落概率。
钨铌靶材喷砂处理的具体过程如下:
(1)制备靶材
用钨粉和铌粉作为原材料,然后装入混料机进行混合,后将混合粉装入管状橡胶模套内,再用冷等静压机进行压制成型得到靶材坯体,靶材坯体经过烧结,冷却,粗车,细磨等工序,即可得到所需要的靶材;
(2)改性处理
在物理气相沉积设备的镀膜室装入合金阴极靶材,然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台;关闭镀膜室门,设定气相沉积参数,进行物理气相沉积镀膜;将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理,即可得到表面金属化改性的钨铌靶材。
注意:物理气相沉积过程的参数设定为:预抽本底真空至3.0×10-3Pa以下,通入氦气,镀膜过程中溅射气压设定在1~5Pa;样品加热温度为150~250℃;靶材功率密度范围为10~25W/cm2;滚筒式沉积台的转速为20~35r/min;振动系统的振动频率为15~40Hz;镀膜时间为5~10h。步骤(2)中热处理是在真空下进行的,真空度可控制在1×10-5~1×10-3Pa的范围内,热处理温度设定在500~700℃的范围内,热处理保温时间设定为50~80min,随炉冷却。
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