什么是钨靶材?
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2021年5月31日 星期一 13:55
- 作者:Xiaoting
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什么是钨靶材?其又称为钨溅射靶材,是一种以纯钨粉为原材料的产品,外观为银白色,因有优异的物理性质和化学性质,而深受众多领域欢迎。
钨溅射靶材特点
1)纯度高,经过烧结锻打后的靶材纯度通常可以高于99.95%。一般而言,在其他条件不变情况下,靶材纯度纯度越高,所制成的镀膜电性能越好,则相应电路越不容易短路或损坏。
2)成本相对合理,采用粉末冶金直接压制成型的速度更快,能有效缩短生产周期,进而降低成本。
3)密度大,经过烧结锻打后的靶材密度可达到19.1g/cm3以上。
4)偏转力度高,利用超细纯钨粉末生产的靶材成品的成分与组织结构都较为均匀、一致性较好。
5)热化学稳定性良好,不易出现体积膨胀或缩收、与其他物质发生化学反应等现象。
6)电阻低,不会使电路产生不必要的能量。
此外,它还有高熔点、高弹性、低膨胀系数、低蒸气压、无毒、无放射性等特性。
钨溅射靶材生产工艺
一般采用粉末冶金方法制备。第一,将钨粉放在真空热处理炉中进行预脱气,后导入氢气,继续加热进行脱气;第二,将脱气后的钨粉通过真空热压完成一次烧结;第三,将一次烧结后的产品通过热等静压机完成二次烧结;第四,将二次烧结后的产品通过机械加工将整个表面进行磨削处理,即可得到产品。注意:1)钨粉的纯度要达99.999%以上、粒度在3.2‑4.2μm之间。
钨靶材用途
广泛应用于平面显示器、太阳能电池、集成电路、汽车玻璃、微电子、存储器、X-射线管、医疗设备、熔炼设备等产品中。
注意:靶材的纯度、密度、微观结构、内部质量、焊接质量、外观质量和几何尺寸等对镀膜好坏有着重要的影响。
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