新型的钨针动态腐蚀制备装置

利用电化学腐蚀原理进行钨针制备的常用方法，可分为静态腐蚀和动态腐蚀两种。动态腐蚀，若采用压电陶瓷成本会较高，而且由于钨针提起的速度非常慢，所以腐蚀效率不是很高。针对于现有的动态腐蚀方法的不足，研究者设计出了一种新型的钨针动态腐蚀制备装置。

新型的钨针动态腐蚀制备装置包括固定基座、定位系统、控制系统和腐蚀溶液四大部分。固定基座为U形固定架，由钢架组成。

定位系统：由两相混合式直线步进电机、步进电机驱动器DM402A、钨针夹具组成。直线步进电机为两相混合式将直线步进电机导轨固定在钢架上，钨针夹持装置通过螺丝钉固定在步进电机上，钨针则夹持于夹具内。

控制系统：由单片机（80C51）、电流监控反馈电路、电压切断电路构成。其中单片机控制电机上下往复运动，电流监控反馈电路由采样电阻（2Q）、RC低通滤波电路（R= 10kQ）、电压跟随器构成，电压切断电路则由高速电压比较器（AD827）、快速继电器及继电器驱动芯片（MC1416P）构成，目的是在电流降低到阈值以下后迅速切断钩针的电压。

腐蚀溶液：NaOH溶液，盛于烧杯中，电化学腐蚀的阳极悬空幷浸入溶液，为直径7mm的圆柱形（圆柱高6mm）铜环。

钨针，作为一种常见的探针，广泛应用于纳米技术相关的领域，如扫描隧道显微镜、聚焦粒子束仪、纳米机械手探针等仪器中。

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