智能窗用三氧化钨电致变色薄膜

智能窗用三氧化钨电致变色薄膜可以通过磁控溅射法制备得到。你们可能知道磁控溅射法是一种适用于多领域的薄膜制备方法,便于在实验室中进行研究,同样适用于企业大规模生产。那么,你们可是知道磁控溅射法制备WO3电致变色薄膜的基本方法是什么?

智能窗用三氧化钨电致变色薄膜图片

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磁控溅射法制备WO3电致变色薄膜的基本方法是:以W或WO3为靶材,工作气体为Ar或Ar与O2混合气体,通过施加高压,靶材表面产生异常辉光放电,所产生的等离子体以磁场进行约束,使Ar+离子以500eV的能量对靶材进行轰击,以离子形态从靶材表面剥离出原子以及原子簇,从而在基底表面沉积形成均匀的WO3薄膜。

 

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