钛掺杂WO3电致变色薄膜

钛掺杂WO3电致变色薄膜可以通过溅射沉积法制备得到。有专家采用金属钨钛合金(含钛质量分数6%)作为靶材,使用镀膜机通过脉冲直流电源在FTO透明导电玻璃基底上反应溅射沉积了钛掺杂三氧化钨(WO3:Ti)薄膜。

钛掺杂WO3电致变色薄膜图片

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溅射前,专家将镀膜腔室本底真空抽至低于4.5*10-4Pa,高纯氩气(99.9%Ar)作为工作气体,高纯氧气(99.9%O2)作为反应气体,固定工作气压1.7Pa,通入Ar流量15sc/cm,O2流量13sc/cm,通过改变基片温度分别为室温、200℃、300℃、350℃,沉积了不同基片温度的Ti掺杂三氧化钨薄膜,并探讨了不同基片温度对WO3:Ti薄膜结构与性能影响。

 

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