氧化锌薄膜的射频磁控溅射R面蓝宝石衬底上外延生长

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月16日星期四 11:54; 点击数：2695

氧化锌薄膜沉积在R面蓝宝石衬底上。热能和氧化锌薄膜的生长的溅射物的动能的影响进行了调查。通过改变衬底温度，腔室压力，并且射频功率，氧化锌薄膜的结构从多晶转化外延在R面蓝宝石衬底上。高品质的氧化锌外延薄膜的生长，在400 ℃， 250瓦的条件下，和5毫乇。根据反射高能电子衍射和反射电子显微镜观察，有没有双衍射变形及任何其他模式。其利用原子力显微镜观察表面粗糙度约为27纳米。

A 1.5 GHz范围内的低插入损耗表面声波（SAW）滤波器一直采用的氧化锌/蓝宝石衬底和IIDT型电极与两个外部反射器开发的。该过滤器具有1.3 dB的插入损耗，大于30 dB阻带衰减和50Ω电阻纯的，无需外部匹配网络匹配阻抗。该滤波器具有先前报道的所有横向型吉赫范围的SAW滤波器的最小插入损耗，它是适合于用作一个射频级滤波器，用于未来的1.5 GHz范围内的日本数字蜂窝系统。

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