电沉积法制备三氧化钨薄膜

三氧化钨(WO3)薄膜是一种具有较高的透射率变化、可逆性好、相对价格低、寿命长和无毒环保等优点的功能材料，它是最早被采用且应用最广泛的电致变色材料。这种电致变色材料的应用就隐匿在我们日常生活中，如它可制造节约能源、调节光线和控制热负荷的智能窗。因此，有关研究人员为研究三氧化物薄膜的性能不断改进其制备方法，如用电沉积法制备WO3薄膜是近几年的研究热点。以下是关于电沉积法制备三氧化钨薄膜的大致步骤。

 一、ITO 基底清洗

1.将1×4cm 的ITO（Indium Tin Oxides） 玻璃片分别隔离开放入小的玻璃圆柱烧杯；

2.之后放置在大的玻璃杯中，分别使用丙酮、甲醇、和超纯水中超声清洗10 min，除去其表面的灰尘以及黏附的有机物；

3.清洗之后置于60 ℃中的烘箱中干燥，之后使用欧姆表确定导电的一侧使用导电铜胶带连结便于其后连接电路。

二、电沉积制备三氧化钨薄膜

1.电沉积三氧化钨薄膜的溶液由钨酸钠和无机酸配置，首先将0.125 mol/L

的Na2WO4•2H2O 和1 mol/L 的HClO4 溶液配置好；

2.往20 mL 的0.125 mol/L 的Na2WO4•2H2O 溶液加入1.2 mL 的1mol/L 的HClO4，使溶液的pH 值调控到1.4；

3.之后加入70μL 的H2O2(30%)配置成电沉积溶液；

4.通过三电极体系，将已准备好的ITO 基底连接工作电极，Pt 片作对电极，Ag/AgCl (3 mol/L KCl)作参比电极。在-0.7V 的电位下分别沉积400 s、600 s 和1000 s；

5.结束后使用乙醇冲洗并自然晾干，根据电沉积的时间将所制备的薄膜分别命名为W400、W600和W1000。

电沉积法与其他方法相比，其设备较简单、可控性强、镀膜比较均匀。

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