化学气相沉积(制备钨管)的优点

因为采用CVD制备钨管具有众多优点,所以其受到冶金工业等相关人士的关注。

化学气相沉积的优点:

相比粉末冶金工艺,CVD(化学气相沉积)工艺较为简单化且稳定,可实现一次成型,因而避免了烧结、冲压、锻造等工艺过程。

沉积速度快且效率高。因为难熔金属具有原子半径大、高熔点等特性,所以不适合采用PVD(物理气相沉积)等制备技术---沉积效率低。

绕镀性好。因而可以沉积获得形状复杂的、组织致密的或是大型的零件和涂层。也容易实现管道内壁亦或是容器内壁的膜层沉积,还可以实现多层膜沉积和多组元合金膜层沉积。

沉积膜层的纯度高、致密度好且可以精确控制多组元合金膜层成分。


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