制备氧化钨薄膜-真空蒸镀镀膜法

氧化钨，英文名称: Tungsten Oxide；Tungsten Trioxide 是一种外观呈黄色的斜方晶体，在加热时颜色会变深，不溶于水合酸，能缓慢地溶于溶碱溶液。同时，氧化钨具有气体敏感性，可用于二氧化氮，氨气等有毒气体的检测，当氧化钨被制成氧化钨薄膜的时候，能大大的提高对于低浓度有毒气体的检测。氧化钨薄膜的制备方法很多，以下介绍真空蒸镀镀膜法制备氧化钨薄膜。

真空蒸镀镀膜法是制备薄膜最一般的方法，是通过真空室抽真空至0.00001-0.0001Pa的压强下，采用各种形式的热能转换方式使镀膜材料蒸发，并成为具有一定能量的气态离子（原子、分子或原子团），蒸发的气态粒子基本上无碰撞的直线运动方式传输到基地，然后在基地上凝聚成薄膜，即为氧化钨薄膜。
 

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