微波等离子体制备氮杂二氧化钨钒薄膜（3）

根据二氧化钒在68℃左右发生相变的特性，相关学者研究发现不仅掺杂可以降低二氧化钒的相变温度，VO₂薄膜可以有效减少VO₂粉体的相变温度。因此通过采用微波等离子制备氮杂二氧化钨钒薄膜的，相变温度可以降至35℃。而氮杂二氧化钨钒的制备方法如下：将已经制备好的V_1.96W_0.04O₅薄膜，通过微波等离子增强法，控制反应参数，将V_1.96W_0.04O₅薄膜还原为V_0.98W_0.02O₂并进行氮掺杂。这个方法可以将化学计量比V_1.96W_0.04O₅掺杂还原成不同氮含量的氮杂二氧化钨钒（V_0.98W_0.02O_2-XN_Y）。反应参数设定范围如下为：总压强1kPa，反应功率100-200W，N₂流量为0-20ml/min，H₂流量为20ml/min，反应时间为10-30min。通过不同的参数设定和工艺条件可以制备出不同氮掺杂量的V_0.98W_0.02O₂薄膜。且经实验发现随着氮离子的掺入，可以有效的降低氮杂二氧化钨钒薄膜的相变温度，最低可以降至35℃。

 

钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten-powder.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格

• < 上页
• 下页 >