沉积基体位置不同对钨管组织形貌的影响

沉积基体位置不同对钨管的组织形貌有明显的影响。

在靠近气体出口端位置，测温区域与沉积温度比较靠近，但由于受前期沉积反应的影响，WF₆和H₂的浓度降低，HF的浓度增加，所以，还原生成钨原子的速度下降；测温区域的晶粒明显比沉积组织的晶粒细小；靠近气体出口端的钨管厚度明显变薄。

在靠近气体入口端位置，由于受通入气体的影响该位置的沉积温度相对较低，所以，此位置获得沉积层显微组织柱状晶相对细小，沉积生长速度也相对较慢。

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