三氧化钨薄膜的透光性（2）

详细资料: 分类：钨业知识; 发布于 2015年6月10日星期三 16:42; 点击数：1325

通过比较磁控溅射法和溶胶凝胶法制备的三氧化钨发现它们的透光率差异不大。但是磁控溅射光谱的波峰波谷更明显,即磁控溅射法制备的薄膜对于不同波长光的吸收差异大于溶胶-凝胶法制备的三氧化钨薄膜。

溶胶-凝胶法在退火前后不同温度下的透射谱的分析。对于溶胶-凝胶法制备的三氧化钨薄膜,退火温度越高,薄膜的透光率越低。在300℃下退火30min后，薄膜透光率平均下降10%,波峰波谷的波长位置有向紫外波段移动的现象,但是不明显。在380℃下退火后薄膜的透光率降低了20%~25%,且在偏红外部分的透光率下降特别明显,波峰数没有变化,波峰波谷处透光率差值变得更小。在400℃下退火后薄膜透光率下降25%~30%,且在偏红外部分的透光率下降特别明显。

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