什么是六氟化钨？

1、什么是六氟化钨？

六氟化钨（Tungsten Hexafluoride）为氟与钨形成的无机化合物，化学式WF6。常温常压下为无色气体、有毒、具腐蚀性的气体，溶于多数有机溶剂，密度约13g/L（约为空气的11倍）。它CAS登录号为：7783-82-6，EINECS号为：232-029-1。

2、六氟化钨有什么物理化学性质？

（1）它是一种密度最大的气体，分子量为297.830，熔点为2.3°C，几乎能够和所有金属（除了金和铂）反应。

（2）它遇水分解，在空气中被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。

（3）它还是一种强氟化剂，除镍合金和不锈钢外，在室温下能使许多金属氟化；在干燥状态时对玻璃腐蚀较弱，但在湿气中能迅速反应；与离子型卤化物反应可形成配位化合物，在高温下可被氢还原为钨。

3、六氟化钨如何生产？

它通常是由氟气和钨粉在350至400°C下直接反应而成，反应式为：W+3F2→WF6

反应产生的气态产物通过蒸馏与常见杂质WOF4分离。在直接氟化的一种变体中，将金属置于加热的反应器中，略微加压至1.2至2.0psi（8.3至13.8kPa），把恒定流量WF6注入到少量氟气中。

反应中氟气可以被替换成ClF、ClF3或BrF3。另一种制备WF6方法是三氧化钨（WO3）和HF、BrF3或SF4的反应。WF6也可以从六氯化钨开始合成，反应式为：

WCl6+6HF→WF6+6HCl

WCl6+2AsF3→WF6+2AsCl3

WCl6+3SbF5→WF6+3SbF3

4、六氟化钨有什么注意事项？

WF6是腐蚀性极强的化合物，会攻击任何组织。WF6和湿气反应会产生氢氟酸，所以WF6储存容器有聚四氟乙烯垫圈。

5、六氟化钨有什么用途？

WF6主要应用于半导体工业的化学气相沉积工艺中，以沉积钨金属。半导体器件制造行业通常用WF6化学气相沉积来形成钨膜。

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