大面积制备二维二硫化钨

二维材料因为其优良的电学、光学、热学等特性，激发了无数学者的研究热情，受到材料学领域的广泛关注。二维二硫化钨是一种类石墨烯的新型二维材料，在电学器件、能源、生物和复合材料等方面有极大的应用潜力。

制备二维二硫化钨方法包括机械剥离、电化学锂离子插层法、液相剥离法、水热法以及化学气相沉积法等，其中化学气相沉积法在制备二维二硫化钨时有着尺寸、层数可控，材料结晶质量高等方面的优势。但化学气相沉积法需要在真空低压条件下进行，存在成本较高，制取效率较低的情况。

于是，有学者提出一种能够可控制备出大面积的二维二硫化钨的方案，制备的过程如下：

采用常压化学气相沉积法，称取一定0.2g WO₃和1g S，并放在两个石英舟中；将放置S的石英舟置于距管式炉进气口25cm处；将放置WO₃的石英舟中，将清洗好的二氧化硅/硅衬底(1cm×1cm)用氮气气枪吹干后，再用氧等离子清洗机清3min。将硅片衬底斜搭在石英舟上，将其置于加热区中心。管式炉预先通氮气60分钟，氮气流量为200sccm，将管中空气排净。将氮气流量调整为100sccm，以30℃/min的加热速度将管式炉升温至950℃，保温15min。 待管式炉自然降温到室温时，打开炉盖获取所需的二维二硫化钨。

上述工艺是一种行之有效的二维二硫化钨制备方法，不仅工艺简便，而且产物质量高，其制备的二维二硫化钨面积大，三角形晶粒的边长可达120μm左右，连续薄膜的横向尺寸可达毫米量级，具有工业化的前景。

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