从正的氧化锌紫外发光:GA/P-ZnO与p型氧化锌蓝宝石衬底氮同质结装置通过退火氧化氮等离子周围形成氮层

 
 

氧化锌同质结发光器件(LED)用正的氧化锌:镓的苯乙烯/对 - 氧化锌:无结构是由金属有机物化学气相沉积制造蓝宝石衬底在蓝宝石衬底上。可再现的p型氧化锌:氮层与空穴浓度1.29 × 1017厘米-3形成了以氨为随后的氧化氮等离子保护环境的热退火掺氮源。该器件表现出理想的整流行为。不同的电致发光发射中心在3.2 eV和2.4 eV的从该设备在正向偏压下在室温下进行检测。在强紫外线辐射媲美的电致发光光谱的可见光发射,这代表了氧化锌同质结LED的性能显着进展。

氧化锌外延层已经被沉积的化学气相传输上的单晶蓝宝石基板。氧化锌层已经沉积了厚度为100μ的。 X射线分析表明,氧化锌的c轴,可向平面平行于面取向的蓝宝石衬底。电阻率一般是从1到10Ω厘米,但可以显著提高锂或钠的扩散。


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