高純六氟化鎢製備方案

WF₆在室溫下是一種無色的氣體，其密度是已知氣體中最大的。WF₆的相對分子品質為297.84，其分子在常溫下具有對稱的正八面體結構，並具有抗磁性。 目前工業上主要採用金屬鎢與氟氣或NF3直接反應的方法來製備WF6，反應通常 在高於350℃的條件下進行。為減少副產物的生成，金屬鎢在使用前應先進行脫水和去氧處理。

現有常規工藝需通過使氟氣流過含金屬鎢的流化床或固定床來完成的。為促進氣一固相的良好接觸，還需將金屬鎢加工成粉末狀。反應結束後，以液體形式收集WF₆。傳統工藝在實際操作中氟氣與鎢粉接觸不充分、反應器效率低等問題，為此，有研究人員提出了改變。

高純六氟化鎢的制取主要分為三道工序，

1、初步濾除HF。將WCl₆加入至WF6 中，再加熱至 60℃及維持振動攪拌條件下和 HF 反應，達到去除 HF 的目的

2、去除輕組分雜質。利用WF6與各雜質組分熔點不同，在同一溫度下的飽和蒸汽壓也不同的特性，在精餾釜中對於易揮發性雜質也就是輕組分雜質進行分進行氣體分離。

3、精餾提純。對於非揮發性雜質也就是金屬雜質的去除，主要對象是鉬。由於鎢和鉬屬於伴生礦，鎢粉是製備初級WF6的原料之一，其中含有微量的鉬，因此，所製備的WF6 中含有少量的六氟化鉬，採用填料式精餾塔進行精餾是去除金屬雜質較為有效的辦法。實現淨化後的六氟化鎢產品純度能達到99.999 %以上。

淨化後的六氟化鎢粉末再使用化學氣相沉積法，其純度將再一次提升，能輕易的達到5N以上純度，這種方法簡單，成本較低，產品進一步精製後可以用於電子產品生產。

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