藍寶石襯底的等離子體預處理氮化鎵外延

分子束外延（MBE ）生長的氮化鎵的藍寶石上的層的晶體品質在很大程度上取決於膜的成核和生長的初始階段。因此，預處理襯底是非常重要的。使用X-射線光電子能譜（XPS）和低能量電子衍射（LEED）原位研究為在退火後在超高真空和暴露於射頻（RF）表面清潔和c-面藍寶石襯底的氮化的情況下氫氣和氮氣等離子體的分離發現在氫等離子低溫（ 200-300 ℃）的熱處理提供有效的去除表面的外來汙染物違背了退火在真空中此外XPS數據後在氮等離子體熱處理形成表面氮化物在300-700 ℃下提供明確的證據，結論與從反射高能電子衍射（RHEED）推斷協議。表面氮化發現將保持穩定在隨後暴露於大氣中。

二次諧波產生的周期性極化氮化鎵由一階quasiphase匹配。在周期性極化結構中生長用等離子輔助分子束外延。觀察到約9 μW二次諧波功率從1658.6 nm的一個基本輸入激光的波長與12.76 ％的W -1厘米²的歸一化轉換效率。通過周期性極化和氮化鎵具有非常寬的透明窗口的事實來執行非線性波長變換，鋪路氮化鎵將用於非線性光學器件在電信以及一個非線性的光源，用於生化檢測在遠的能力紅外和遠紫外線。


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