一種高溫下不變形的鎢加熱子裝置的使用原因

一種高溫下不變形的鎢加熱子裝置的組成部分包括石英管腔體9，鎢絲加熱部分和樣品台10，其中鎢絲加熱部分由扁平螺旋管狀的加熱鎢絲1、緊固鎢絲2、懸掛鎢絲3、氮化硼陶瓷杆4、固定用陶瓷5、和銅電極8組成。

熱絲CVD系統中，化學反應的能量是靠鎢絲發熱提供的，襯底也是靠鎢絲的熱輻射而加熱到一定的生長溫度的，襯底表面的溫度均勻性會因鎢絲的形狀而不同，而膜成核和生長的均勻性的一個非常重要的影響因素就是襯底表面溫度的均勻性。在一般的實驗室CVD小型和中型系統中，鎢絲都是繞成螺線管狀的鎢加熱子。這種繞法相對簡單，每一匝都是相同的外徑。但是採用螺線管狀的鎢絲加熱子，襯底表面的溫度分佈沒辦法達到均勻的效果，以螺線管軸線的襯底表面的豎直投影線作為基準線，襯底表面離該線越遠的點溫度就越低，而且螺線管本身中間的溫度會比兩端高，這也是造成襯底表面溫度分佈不均的原因之一。螺線管狀的鎢絲加熱子不但會導致襯底表面溫度的不均勻，而且在CVD生長過程中，鎢絲在高溫下通常會發生變形，中間的高溫部分彎曲下垂，導致襯底表面溫度分佈的均勻度更低，最終致使無法繼續進行CVD生長過程，必須更換鎢絲後才能繼續操作。這樣一來，就會對試驗效果造成一定的影響。因為新的鎢絲在各方面條件下都不可能和原鎢絲完全一致，這必定會影響到比較性試驗結果的可靠性。

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