一種高溫下不變形的鎢加熱子裝置——鎢絲加熱部分

在生長CVD金剛石膜的過程中，鎢絲安裝好後都要經過長時間的碳化，將鎢碳化成碳化鎢，避免其在高溫下會發生形變，即便如此，在長時間的工作狀態下，螺旋管還是會逐漸變形彎曲然後下垂。在大型CVD系統（反應室直徑大於50cm）中，為了製備大面積且均勻的膜，採用大面積柵狀直拉鎢絲以此來消除溫度不均勻和加熱絲的形變問題。但是大型CVD系統在膜生長的過程中，一般都有較大的功率和氣體消耗，而且直拉熱絲排布的時候，通過熱絲的總電流都會很大，一般都在100安培以上，需要大功率大電流的熱絲加熱變壓器，和相應的系統冷卻裝置，設備相對比較複雜，不適合做基礎試驗的研究。

對核心的鎢絲加熱部分可以通過以下改進措施解決上述問題。
1. 鎢絲繞製成扁平環狀，並用特質模具一次性繞制定型而成。
2.採用耐高溫的氮化硼陶瓷杆（熔點大於2400℃）隨鎢絲進行固定。
3.將氮化硼陶瓷杆懸掛在電極上端固定好，使扁平加熱鎢絲整體與襯底表面保持平行。
4.新鎢絲在使用前要經過應力處理。
新鎢絲繞制和固定好後，在通常的生長氣氛中，低溫下進行較長時間的退火處理，以消除繞制和定型過程中產生的應力。升溫的過程為：鎢絲溫度每升溫100℃後，保持2小時，直到鎢絲溫度達到生長溫度。

這個是針對鎢絲繞制的具體改進措施，這種高溫下不變形的加熱子裝置將會大大提高後續鍍膜的效率。

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