藍寶石長晶爐常用晶體生長方法

藍寶石長晶爐常用的晶體生長方法:鎢片和藍寶石

柴氏拉晶法又稱為提拉法
凱氏長晶法又稱為泡生法
溫度梯度法(TGT法)
導模法
熱交換法
垂直水準溫度梯度冷卻法
韓國STC技術
ES2-GSA長晶法
美國Rubicon Technology Inc.技術

由於鎢鉬具有耐高溫、低污染等特性,被廣泛用來做藍寶石長晶爐的熱場部件,包括鎢坩堝/鉬坩堝、發熱體、鎢筒、隔熱屏、支撐、底座、籽晶杆、坩堝蓋等。發熱體採用鳥籠結構鎢發熱體或者鎢網發熱體,有利於提供均勻穩定的溫場。


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