我國自主研發可放大2萬倍鎢燈絲掃描電鏡

11月29日，國儀量子與無錫量子感知研究所聯合舉辦“掃描電鏡新品發佈會”，發佈了多年攻關、自主研發的系列新品“掃描電子顯微鏡SEM3000”。在此前首次亮相的全國電子顯微學學術年會上，其標準版掃描電鏡SEM3000獲得了行業專家的高度肯定。

標準版掃描電鏡SEM3000是一款使用鎢燈絲的高性價比掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級的微觀結構，放大倍數可達20000倍。此型產品具有快速更換燈絲的優點。其解析度優於25nm，在自動五軸樣品台的配合下，非常適用於生產品質控制及樣品篩選，適合傳統光學顯微鏡無法滿足需求的用戶。

專業版掃描電子顯微鏡SEM3000S的放大倍數可達150000倍，基於優秀的電子光路設計及新型聚焦系統，其解析度輕鬆優於10nm。在100mm全自動五軸樣品台的配合下，它是科研及新材料研發的得力助手。

掃描電子顯微鏡的原理是利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的資訊，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。鎢燈絲掃描電鏡通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處於熱激發狀態，在陽極作用下，處於熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發出二次電子、背散射電子等實體信號，經探測器收集、放大器放大後，調製得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。

據瞭解，鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用於形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學、半導體等領域都有廣泛的用途。不過，由於電子顯微鏡中的掃描電鏡具有較低程度的真空度，而且電子束流大，因此掃描電鏡中的鎢燈絲的使用週期比較有限，需要定期維護、保養與更換。

目前我國的掃描電子顯微鏡主要依靠進口，國產電子顯微鏡產品已被邊緣化。國外幾大廠商聯手壟斷，多年來嚴重制約著中國自身電鏡市場的培養和製造業產業升級的需要。面對行業現狀和基礎研究和應用研究需求，無錫量子感知研究所、國儀量子抓住契機，加大科研投入，組成由多學科專家參與的研發團隊，自主研發出完全國產化的SEM3000系列掃描電鏡，引領我國電鏡行業的良性發展。

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