化學氣相沉積法製備鎢製品試生產線調試成功

近日，由七一八所與北京理工大學聯合研發的“化學氣相沉積法製備鎢製品”項目中試生產線調試成功，並在全國首次採用化學氣相沉積法試製出高純鎢坩堝樣品。

該項目是“七一八所•北京理工大學氣相沉積特種材料研發中心”的首個啟動專案，特種氣體工程部歷時近一年完成了生產工藝設計及中試生產線的建設。該項目的成功調試是七一八所開展校企合作的又一成果。

此次調試成功，標誌著整個研究團隊在化學氣相沉積製備難熔金屬材料產業化與關鍵技術研發方面取得了重要突破，為生產線正式投運打下了堅實基礎。對形成以鎢坩堝、鎢板、高純半導體離子注入部件等一系列高純鎢製品生產領域，開拓難熔貴金屬材料市場，拓寬七一八所特種材料產業發展方向具有重大意義。

化學氣相澱積是近幾十年發展起來的製備無機材料的新技術，主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。目前已經廣泛用於提純物質、研製新晶體、澱積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的澱積過程精確控制。目前，化學氣相澱積已成為無機合成化學的一個新領域。

化學氣相沉積法製備鎢製品是以WF6和H2為原料，通過氣相反應成功地沉積出多種異型緻密鎢製品，具有設備簡單，工藝穩定可靠，且製品品質較高等特點。鎢的化學物理特性使鎢製品成為某些工業產品中不可缺少的零件，化學氣相沉積是獲得價廉質好的鎢製品的一種工藝方法，特別適合於異型製品的製備。

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