臭氧（O₃）又稱為超氧，是氧氣（O₂）的同素異形體，在常溫下，它是一種有特殊臭味的淡藍色氣體。臭氧具有青草的味道，吸入過量對人體健康有一定危害。由於臭氧具有非常強的氧化性，它在消毒殺菌等方面發揮良好的作用，如家用臭氧消毒櫃，空氣除味與殺菌等。然而，也正是臭氧的強氧化性，它也同時具有毒性和腐蝕性，會刺激和損害眼睛、呼吸系統等黏膜組織。

 

近年來隨著空氣污染日益受到關注，臭氧污染也逐漸為人們所知。臭氧污染具有很大的迷惑性，因為它往往在風和日麗天空晴朗時發生，人們置身於其中，卻根本意識不到，還以為空氣特好。我國對臭氧濃度上限值做了規定，具體為：一級120μg/m³；二級160μg/m³；三級200μg/m³；而當空氣中的臭氧濃度超過205μg/m³時，會對人體產生嚴重危害。另外，臭氧污染也會造成植物葉片壞死、脫落、長漂白斑、生長受抑制，從而造成農作物減產；臭氧還會造成材料褪色、照片褪光，輪胎老化等，而引起經濟損失。因而，在特定環境中，對於臭氧含量的檢測是非常有必要的，對臭氧氣敏感測器的研究顯得尤為重要。

 

研究發現，WO₃對臭氧具有良好的氣敏性能，Cantalini等通過溶膠-凝膠法、真空熱蒸發和濺射沉積技術製備了WO₃薄膜氣敏感測器，實驗發現，該種薄膜在工作溫度為200~400°C時可以檢測21.4~342.4μg/m³的臭氧，具有良好的信號再現性。Bendahan等在不同氧含量（18%~65%）的環境下，採用反應磁控濺射技術製備WO₃薄膜，並發現該種氣敏感測器在150°C下對臭氧有很好的回應性，並且，跟其它臭氧感測器相比，具有更短的回應-恢復時間。