隨著環境保護受關注度日益提高，空氣品質也越來越受到人們的重視；出於環境保護、提高空氣品質的目的，對高靈敏度、低成本、易維護的氣體感測器的開發也越加迫切，進而有效得對各種有毒、有害、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗。化學氣體感測器中的金屬氧化物半導體感測器由於具有高靈敏度、回應快、成本低等優點而被廣泛研究。

 

氧化鎢（WO₃）是一種常見的金屬氧化物半導體氣敏材料，由於它的工作溫度較低、靈敏度較高，而成為近年來重點研究的方向之一。WO₃是一種過渡金屬氧化物，其熔點為1473 °C，沸點為1837°C；具有很強的耐酸性，除了氫氟酸（HF）外，WO₃幾乎不與其它無機酸反應。三氧化鎢是一種寬頻隙的n型半導體，其禁帶寬度約為2.4eV~2.8 eV。在特定的目標氣氛下，三氧化鎢的表面會與目標分子發生氧化或者還原反應，三氧化鎢的導電性發生改變，其具體為：

1. 當目標氣體為氧化性氣體時，WO₃導電率下降，電阻值上升；

2. 當目標氣體為還原性氣體時，WO₃導電率上升，電阻值下降。

 

研究結果顯示，三氧化鎢氣敏感測器能夠用於二氧化硫氣體的檢測。二氧化硫是大氣主要污染物之一，其常見的檢測方法有兩種，即物理方法和化學及電化學方法。文常保等用鎢粉、過氧化氫、甲醇和PVP（聚乙烯吡咯烷酮）作為原料，利用化學和熱噴射方法製備了三氧化鎢薄膜，這種薄膜具有多微孔狀結構、吸附熱小、吸附氣體快等優點，有利於二氧化硫氣體的吸附。在1.43*10³~57.2*10³μg/m³氣體濃度範圍內，其對二氧化硫的靈敏度達到了6.8。Boudiba等用絲網印刷法在氧化鋁陶瓷基板上製備WO3氣體感測器，經測試，這種感測器在200~300°C範圍內，對2.86*10³~28.6*10³μg/ m³的二氧化硫具有良好的回應性。