探究三氧化鎢薄膜透光率

透光率是一個物理辭彙，是表示顯示設備等的透過光的效率，是透過透明或半透明體的光通量與其入射光通量的百分率。它表示顯示設備等的透過光的效率，它直接影響到觸摸屏的視覺效果。很多觸摸屏是多層的複合薄膜，僅用透明一點來概括它的視覺效果是不夠的，它至少應該包括四個特性：透明度、色彩失真度、反光性和清晰度、鏡面反光程度和衍射反光程度。

採用XRD-600衍射儀對不同方法製備的三氧化鎢薄膜的結構形態進行分析。實驗發現，通過比較溶膠-凝膠法和磁控濺射法制得的三氧化鎢薄膜在退火前透光率相似，在300℃以上退火處理後薄膜樣品的透光率下降，且退火溫度越高，透光率越低。在350℃以下退火處理得到的三氧化鎢薄膜樣品為非晶態，350~400℃範圍內退火時，薄膜樣品逐漸完成非晶態到晶態的轉變，在400℃以上退火處理後，襯底也產生了晶體衍射峰。

不同溫度下退火處理得到的三氧化鎢薄膜樣品的形態不同。另外，三氧化鎢薄膜的結構形態和光學性質對其氣敏性能有很大的影響，例如非晶態結構薄膜相對疏鬆多孔，利於吸附氣體，對氫氣的靈敏度可能高於晶態結構的薄膜。