醇鹽法製備三氧化鎢薄膜

三氧化鎢薄膜材料具有光學性質、電學性質、磁學性質、化學性質、力學性質、熱學性質；此薄膜材料具有多種特性因而在許多領域得到應用，例如用作電學薄膜、光學薄膜、硬質膜、耐蝕膜、潤滑膜、裝飾膜、包裝膜等。在眾多的薄膜材料中，三氧化鎢薄膜具有良好的電化學性能等，因此得到了廣泛應用，如靈巧變色窗、氣體感測器、pH計等。在六十年代就有研究人三氧化鎢薄膜材料，尤其是對其電致變色、電化學等性能的研究比較多，也取得了顯著的成果。

製備步驟：
1. 在乾燥的N₂氣氛中，把基地W加到醇鹽溶液中，用電動浸塗設備提拉出基底；
2. 在乾燥的氮氣氣氛中乾燥塗層，去除過量的有機溶劑，過程約須30min；
3. 在相對濕度為30%的氣氛中，水解塗層，使W-OR（有機材料）轉變為W-OH和R-OH（最終被蒸發），為了保證塗膜充分水解形成凝膠，此過程需要1h；
4.對薄膜進行熱處理，此過程包括兩個熱處理過程：第一步，加熱至200℃，保留30min，使殘餘的有機溶劑和水分揮發掉；第二步，加熱到430℃或更高的溫度，使凝膠乾燥，去除殘留的有機溶劑，使W(OH)轉變為WO₃和H₂O，從而形成三氧化鎢薄膜。

經研究表明，從膜密度的變化後可以發現，三氧化鎢薄膜密度相對於體材料密度（7.16g/cm³）較低，在熱處理前為0.57,180℃退火後為0.64，此時三氧化鎢膜為六方相的微晶結構。