製備碳納米管三氧化鎢薄膜

碳納米管編織的三氧化鎢薄膜及其製備方法和在太陽能電池中的應用，屬於納米材料製備技術領域。該複合薄膜由三氧化鎢和穿插於其中的網狀碳納米管薄膜組成。一方面，經碳納米管編織後三氧化鎢更加穩定，可實現三氧化鎢直接轉移，避免了傳統三氧化鎢轉移過程中高分子的引入帶來的殘膠及三氧化鎢破損；另一方面，碳納米管編織的三氧化鎢較單純三氧化鎢有更好的導電率，與矽形成的異質結太陽能電池具有更高的轉換效率。

化學氣相澱積[CVD(Chemical Vapor Deposition)]，指把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其他氣體引入反應室，在襯底表面發生化學反應生成薄膜的過程。在超大型積體電路中很多薄膜都是採用CVD方法製備。澱積溫度低，薄膜成份易控，膜厚與澱積時間成正比，均勻性，重複性好，臺階覆蓋性優良。目前製備鎢塗層可採用物理或化學氣相沉積方法，或者將氣相沉積方法結合其他製備技術，提高鎢塗層的性能。

採用有序或無序碳納米管薄膜為模版，在有基底支撐或無基底存在的條件下，以有機金屬化合物為鎢源，通過化學氣相沉積法，在低溫下製備晶型、面積、取向度和膜厚可控的氧化鎢碳納米管薄膜。相對于傳統材料，三氧化鎢納米管薄膜保持了碳納米管原有的柔性和良好的透光性。