六氟化鎢的用途

六氟化鎢（WF₆）是鎢的氟化物中唯一能穩定幷被工業化生産的品種。它主要用于鎢的化學蒸鍍，該反應的化學方程式爲：WF₆+3H₂→W+6HF。該還原反應中六氟化鎢在高溫下可被氫氣或者其他還原性氣體（如GeH₄、SiH₂F₂和二乙基矽烷等）還原爲金屬鎢和HF，其中六氟化鎢作爲原材料廣泛應用于電子工業中金屬鎢化學氣相沉積（CVD）工藝技術的基礎。比如用WF₆製成的WSi₂可用作大規模集成電路（LSI）中的配綫材料。且通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的複合塗層可以用于X射綫的發射電極和太陽能吸收器的製造。此外WF₆在電子行業中還主要用作半導體電極和導電漿糊等原材料。
除了在電子工業上的應用，六氟化鎢在非電子方面的應用也十分廣泛，通過CVD技術使鎢在鋼的表面生成堅硬的碳化鎢可以改善鋼的表面性能。另外，六氟化鎢還廣泛用于氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料，用于製造低電阻、高熔點的互連綫、某些鎢制部件如鎢管、鉗鍋。


 

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