CVD鎢管工藝原理

反應源氣體：WF₆  
還原氣體：H₂     
沉積基體：紫銅管
氣壓條件：常壓下     

CVD（化學氣相沉積）鎢管工藝原理：
首先，在恒溫條件下，加熱WF₆並待其氣化後，將其通入氣體混合室中使其與氫氣充分混合，然後再將其通入反應室。

通過加熱紫銅管使溫度上升至所需的沉積溫度。

WF₆和H₂在紫銅管表面發生化學反應，WF₆被還原為W原子。這些W原子會在紫銅管表面聚集形核並長大，最終形成鎢沉積層。

WF₆和H₂反應的化學反應式如下：

WF₆ + H₂ → W + 6HF (125Kj/mol) 

用氣體吸收裝置吸收被排出反應室的未發生反應的WF₆、H₂的剩餘氣體和生成的HF。

 

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