因為採用CVD製備鎢管具有眾多優點,所以其受到冶金工業等相關人士的關注。
化學氣相沉積的優點:
相比粉末冶金工藝,CVD(化學氣相沉積)工藝較為簡單化且穩定,可實現一次成型,因而避免了燒結、衝壓、鍛造等工藝過程。
沉積速度快且效率高。因為難熔金屬具有原子半徑大、高熔點等特性,所以不適合採用PVD(物理氣相沉積)等製備技術---沉積效率低。
繞鍍性好。因而可以沉積獲得形狀複雜的、組織緻密的或是大型的零件和塗層。也容易實現管道內壁亦或是容器內壁的膜層沉積,還可以實現多層膜沉積和多組元合金膜層沉積。
沉積膜層的純度高、緻密度好且可以精確控制多組元合金膜層成分。
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