CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管的硬度（1）

採用CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管，具有相同管徑等因素，沉積溫度在500℃-700℃之間的沉積鎢管沉積層的硬度測試結果顯示，不同沉積溫度製備所得的鎢管的硬度均高於500HW。若是管徑不同，則鎢管硬度隨著鎢管直徑的增加而降低；不同沉積溫度製備所得的沉積層鎢管的硬度隨著距沉積基體距離的增加而降低。對沉積層硬度變化的結果分析顯示，該變化與沉積結束冷卻過程產生的內應力和膜層晶體的生長有關。在基體內表面、膜層沉積生長的過程中，垂直於基體生長的柱晶相互擠壓造成沉積層內具有較大的殘餘應力。鎢管的半徑越小，柱晶相互擠壓造成的沉積層殘餘應力較大。在273-1273K範圍內，鎢、銅的平均線膨脹係數分別為4.4×10^-6K^-1、17.0×10^-6K^-1。沉積結束冷卻過程，鎢管體積收縮遠小於銅基體，這將造成沉積鎢管表面存在更大的殘餘應力。

 

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