三氧化鎢薄膜透光性（3）

採用XRD-600衍射儀進行對不同方法製備的薄膜的結構形態分析。不同溫度下退火處理得到的三氧化鎢薄膜樣品的形態不同。

通過比較溶膠-凝膠法和磁控濺射法制得的三氧化鎢薄膜在退火前透光率相似,在300℃以上退火處理後薄膜樣品的透光率下降,且退火溫度越高,透光率越低。在350℃以下退火處理得到的三氧化鎢薄膜樣品為非晶態,350~400℃範圍內退火時,薄膜樣品逐漸完成非晶態到晶態的轉變,在400℃以上退火處理後,襯底也產生了晶體衍射峰。三氧化鎢薄膜的結構形態和光學性質對其氣敏性能有很大的影響,例如非晶態結構薄膜相對疏鬆多孔,利於吸附氣體,對氫氣的靈敏度可能高於晶態結構的薄膜,所以該研究結果對研究氫敏性能有一定的指導作用。

 

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