蒸發法製備納米三氧化鎢薄膜

納米三氧化鎢薄膜在現代科技中已經被廣泛的應用，對於它的相關研究也越來越多，它的製備方法也有很多。但是薄膜的性質與製備方法及工藝條件密切相關，用不同製備方法製備的WO3薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同，常見的方法如下。蒸發法、濺射法 、化學氣相沉積法、電沉積和溶膠-凝膠法等等。利用物質在高溫下的蒸發現象，製備各種薄膜材料。蒸發法具有一些明顯的優點，如較高的沉積速度、相對較高的真空度，以及由此導致的較高的薄膜純度等。蒸發法包括蒸發冷法、電子束蒸鍍法、電弧蒸發法、鐳射蒸發法、空心陰極蒸發法、熱蒸發法等，其中熱蒸發法是使用比較多的方法之一。 用蒸發法製備的薄膜純度高、顆粒分散性好。通過改變、控制氣氛壓力和溫度，可制得顆粒尺寸不同的納米薄膜，適合合成熔點低、成分單一物質的薄膜或顆粒。但這種製備方法一般都需要高溫和真空條件，製備工藝複雜而且設備昂貴，不適宜製備大面積薄膜。

 

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