氣相法是直接利用氣體或者通過各種手段將物質變成氣體,使氣體在條件作用下發生物理變化或者化學變化,最後冷卻後形成納米微粒。它的主要過程是通過昇華、蒸發、分解,然後通過適當條件使其成為飽和蒸汽,控制非晶薄膜的晶化過程,從而獲得納米微粉。氣相法主要的方法有化學氣相沉積和物理氣相沉積。化學氣相沉積主要是通過將多晶原料經過氣相轉化為單晶體,如化學傳輸法,氣體分解法,氣體合成法和MOCVD法等。而物理氣相法是將多晶體原料經過氣相轉化為單晶體,如昇華-凝結法,分子束外延法和陰極濺射法。氣相法可以製備出液相法難以製得的金屬碳化物、氮化物、硼化物等非氧化物超微粉。同時相比其他方法,氣相法產出的納米三氧化鎢表面更加清潔,粒度整潔且容易控制,顆粒的分散性也較好。
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