什麽是六氟化鉬？

與六氟化鎢（WF6）一樣，六氟化鉬也是由難熔金屬元素和鹵族氟元素組成的一種化合物，均可以應用于微電子工業中作互連綫。鎢和鉬均屬￿難熔金屬元素，分別位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。 

從化學成分上看，六氟化鉬是由一個正六價鉬離子（Mo6+）和六個負一價氟離子（F-）組成的一種氟化劑，英文名爲Molybdenum Hexafluoride或Molybdenum Fluoride，化學式爲MoF6，分子量爲209.95。

物理化學性質方面，六氟化鉬的外觀爲白色塊狀結晶或無色氣體，熔點約17.5℃，沸點約35.0℃，液體密度（17.5l℃）約551kg/m3，氣體密度約7.2kg/m3，蒸氣壓約60.8kPa，不與氧氣、氮氣、空氣、氯氣或二氧化硫氣體發生反應，具有較强的吸濕性、氧化性和腐蝕性，能腐蝕除金和鉑外的所有金屬。值得一提的是，MoF6的毒性主要是由氟引起的，水解産物氟化氫對眼、皮膚、呼吸道粘膜有刺激作用。吸入後能損傷支氣管、肺泡、肝、腦神經系統以及骨和齒。

六氟化鉬的生産步驟：在白金管中放鉬粉末，然後在60℃溫度下通乾燥氟氣；在鉬上面通三氟化溴幷加熱到350℃；在空氣的存在下，往MoCl5中通氟氣；再將所得到的産物要冷凝到-70℃，最後在約40℃的溫度下真空蒸餾，可制得精製的MoF6。

六氟化鉬主要用于鉬的同位素分離，或者可微電子工業中用作化學氣相澱積矽化鉬或鉬，以製作低電阻、高熔點的互連綫。另外，MoF6在有機合成領域中也可以用作催化劑，來催化烯烴的氫化、烷基化、環化等反應。

版權及法律問題聲明

本文信息由中鎢在綫®（www.ctia.com.cn，news.chinatungsten.com）根據各方公開的資料和新聞收集編寫，僅爲向本公司網站、微信公衆號關注者提供參考資料。任何异議、侵權和不當問題請向本網站反饋，我們將立即予以處理。未經中鎢在綫授權，不得全文或部分轉載，不得對文件所載內容進行使用、披露、分發或變更；儘管我們努力提供可靠、準確和完整的信息，但我們無法保證此類信息的準確性或完整性，本文作者對任何錯誤或遺漏不承擔任何責任，亦沒有義務補充、修訂或更正文中的任何信息；本文中提供的信息僅供參考，不應被視爲投資說明書、購買或出售任何投資的招攬文件、或作爲參與任何特定交易策略的推薦；本文也不得用作任何投資决策的依據，或作爲道德、法律依據或證據。

• < 前一頁
• 下一個 >