鎢靶材的製作

鎢靶材又稱爲鎢濺射靶材，是一典型的純鎢製品，具有純度高，熔點高，密度大，偏轉力度高，熱化學穩定性良好，電阻低，無毒和無放射性等特性，廣泛應用于平面顯示器、太陽能電池、集成電路、汽車玻璃、醫療設備等産品中。專利號爲CN102513789A的研究者提供一種鎢靶材的製作方法，具體步驟如下：

提供鎢靶材坯料；對坯料表面進行機械加工；將機械加工後的坯料放入真空包套幷抽真空，抽真空步驟是通過脫氣管完成的；對真空包套內的坯料進行鍛造；對鍛造後的真空包套內的坯料進行壓延；壓延完後，進行冷却幷去除真空包套即可。

該生産技術的注意事項：

1）所述抽真空後，還需對真空包套進行第一次熱處理的步驟：進行至溫度爲200°C〜500°C後，進行保溫步驟，加熱及保溫過程中，持續抽真空使真空包套內的真空度至少爲10^-3Pa，之後進行對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造步驟。

2）對真空包套內的坯料進行鍛造步驟之前還需對坯料進行第二次熱處理。第二次熱處理的溫度900°C〜1500°C，幷在此溫度下保溫1h〜5h。

3）對真空包套內的鎢坯料進行鍛造步驟之後和對鍛造後的真空包套內的坯料進行壓延步驟之前，還包括對真空包套內的坯料進行第三次熱處理。第三次熱處理的溫度900°C〜1500°C，幷在此溫度下保溫0.8h〜1h。

與現有技術相比，該生産方法具有以下優點：不需要模具，可避免在空氣中對坯料進行加工延展時出現裂縫和表面易氧化的問題，能够製作出內部組織結構均勻，晶粒大小符合濺射靶材要求的鎢靶材，而且具有易加工、廢品率低的優點。

• < 前一頁
• 下一個 >