鎢鈮靶材的改性

鎢鈮靶材具有高强度、高硬度、耐磨、耐腐蝕和良好耐熱性能等特點，因而廣泛應用于高壓、高轉速、高溫、腐蝕性介質等工作環境。然而，在濺射過程中，靶材的邊緣處會留有濺射産生的顆粒物，而這些顆粒物一旦剝落，不僅會影響濺射環境，還降低産品質量。爲了解决這個問題，現有技術對該靶材的部分非濺射區域進行了改性，即經過噴砂的部分的表面較粗糙，更容易吸附顆粒物，以减低剝落概率。

鎢鈮靶材噴砂處理的具體過程如下：

（1）製備靶材

用鎢粉和鈮粉作爲原材料，然後裝入混料機進行混合，後將混合粉裝入管狀橡膠模套內，再用冷等靜壓機進行壓制成型得到靶材坯體，靶材坯體經過燒結，冷却，粗車，細磨等工序，即可得到所需要的靶材；

（2）改性處理

在物理氣相沉積設備的鍍膜室裝入合金陰極靶材，然後將立方氮化硼微粉放入滾筒式沉積台；關閉鍍膜室門，設定氣相沉積參數，進行物理氣相沉積鍍膜；將鍍膜後的立方氮化硼微粉在真空熱處理爐中進行熱處理，即可得到表面金屬化改性的鎢鈮靶材。

注意：物理氣相沉積過程的參數設定爲：預抽本底真空至3.0×10-3Pa以下，通入氦氣，鍍膜過程中濺射氣壓設定在1～5Pa；樣品加熱溫度爲150～250℃；靶材功率密度範圍爲10～25W/cm2；滾筒式沉積台的轉速爲20～35r/min；振動系統的振動頻率爲15～40Hz；鍍膜時間爲5～10h。步驟（2）中熱處理是在真空下進行的，真空度可控制在1×10-5～1×10-3Pa的範圍內，熱處理溫度設定在500～700℃的範圍內，熱處理保溫時間設定爲50～80min，隨爐冷却。

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